- 荆州高温老化烤箱

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荆州高温老化烤箱 简介:
加工半导体用烤箱, SECS / GEM无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后固化、坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
智能无尘烤箱可以使用TCP / IP(使用HSMS标准,SEMI E37)或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM的通用SECS-II消息进行监控和控制。
箱体结构:
1、烘箱总体由箱体部分,气控制柜部分,加热部分,风道部分,尘埃物过滤部分,进气排气及风冷部分等组装而成,结构合理,功能实用。
2、外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘,
内胆材料:采SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁的防止了机台本身灰尘的产生。
3、保温材料:采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级保温板填充,的防止了热能浪费。
4、热部分:采用覆套式热器(SHEATHED HEATER)无尘无氧化热发生器
5、风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经 H.E.P.A,(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100;
产品特点:
1.内材质为热变形量小的SUS镜面不锈钢,外材质为SECC钢板静喷粉烤漆处理,美观大方。
2.保温材质:纤维棉,隔热性好, 大限度地温度保温性。
3.防密之迫紧材质为耐高温硅胶可长时间承受高温而不变形龟裂
4.发热材质:为蜂窝式防腐蚀耐酸碱不锈钢发热器,无污染不起尘且使用寿命长
5.温度控制为PID微脑自动演算智能温控表,PV/SV同时显示。
6.感温入力CA(K)TYPE感温头,输出为12V
7.计时器:子数码0~9999显示(S.M.H可切换)温到计时,时间到切断加源,报警器声光报警,工作时间的。
8.内置强制送风循环
9.耐高温长轴马达,涡轮风扇。
10.流控制器为采用可控硅固态继器(SSR)无接点无火花现象出现,安全又保持流的性,通过温控器 信号自动调节输出比例。
11 超高温保护:当箱内温升异常时,自动切断整机源。
12.马达过热保护:防止机过热造成机损伤。
13.相序保护:防止力缺相和相序错误,机的安全。
产品技术参数:
1.名称及型号:无尘烘箱 GT-TK-180
2.主要技术指标:
1.无尘等级:Class 100;
2.温度范围: 60~200℃(300℃);
3.温度均匀度:200℃±3℃;
4.温度波动度:±0.5℃(空载)
5.温控精度:±0.1℃;
6.烘箱搁板为活动形式。
7.工作尺寸:W600×H600×D500
外形尺寸:W950×H1510×D1240
8.源:380v , 50Hz,5.5Kw
荆州高温老化烤箱 器控制:
1、双数显PID智能温控器主控
2、监控仪测温,超温保护路监控设备整体运行状况,保障设备及烘干物料的安全
3、采用SSR固态继器通断控制加热器升温
4、配0秒-99.99小时计时器,可进行直接计时或到温计时,时间到自动切断加热并报警
5、鼓风加热连锁保护路,即先鼓风后加热防止加热器干烧
6、相序保护器防止相序接反或缺相造成风机反转工作异常
7、加热断路器防止加热路过载及短路造成意外
8、风机、控制路断路器防止风机、控制路过载及短路造成意外
9、温度记录仪实时记录工作区温度曲线,用于分析物料烘烤工艺流程(选配

